УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИНаучно-технический журнал2013, том 1, № 2 |
УДК 621.315.5 Исследование причин возникновения дефектов при напылении слоя индияБ.В. Трошин, Е.А. Климанов, М.В. СедневИндий является основным материалом для формирования микроконтактов методом вакуумного напыления с использованием испарителей резистивного типа. В напыленных слоях иногда присутствуют дефекты полусферической формы, которые вызывают серьезные проблемы при формировании индиевых микроконтактов. В статье предложена модель формирования дефектов такого типа и способы борьбы с ними. Показано, что основными причинами образования дефектов являются микрообъемы воды внутри локальных механических дефектов поверхности подложек, газящие микрозагрязнения на поверхности и микрообъемы растворителя в слое фоторезиста. PACS: 42.70.NqКлючевые слова: напыление индия, дефекты, индиевые микроконтакты.
|