УДК: 537.311.322
Бесконтактный способ контроля углового перемещения охладителя микрокриогенной системы
Стирлинга при охлаждении матричных фоточувствительных устройств
А.И. Еремчук, А.В. Полесский, А.В. Самвелов, Д.А. Сысоев, К.А. Хамидуллин
Описывается бесконтактный оптический метод контроля углового перемещения охладителя микрокриогенной
системы Стирлинга интегрального типа при охлаждении матричных фоточувствительных устройств в
процессе выхода на температурный режим криостатирования для применения при производстве ФЭМ.
PACS: 85.60.Gz
Ключевые слова: бесконтактный контроль, охладитель, микрокриогенная система, МФПУ.
Еремчук Анатолий Иванович, гл. технолог.
Полесский Алексей Викторович, нач. отдела.
Самвелов Андрей Витальевич, аспирант,
Сысоев Дмитрий Анатольевич, инженер.
Хамидуллин Камиль Алиевич, инженер.
ОАО «НПО «Орион».
Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2.
Тел.: 8 (916)826-29-39. E-mail: a162007@yandex.ru
Статья поступила в редакцию 20 января 2013 г.
© Еремчук А.И., Полесский А.В., Самвелов А.В.,
Сысоев Д.А., Хамидуллин К.А., 2013
|
|
Литература
1. Филачёв А.М., Таубкин И.И., Тришенков М.А. // Современное состояние и магистральные направления развития современной фотоэлектроники – М.: Физматкнига, 2010.
2. Заказнов Н.П., Кирюхин С.И., Кузичев В.Н. // Теория оптических систем – М.: Машиностроение. 1992.
|
Скачать полный текст статьи в PDF-формате
Содержание выпуска № 2
|