УДК 533.9.07
Магнетронный разряд с расплавленным катодом
А.В. Тумаркин, Г.В. Ходаченко, А.В. Казиев, И.А. Щелканов, Т.В. Степанова
Представлены результаты диагностики плазмы стационарного магнетронного разряда с расплавленным медным катодом в
режиме самораспыления. Для определения параметров плазмы разряда использовалась импульсная зондовая диагностика.
Методом оптической эмиссионной спектроскопии определялся элементный состав плазмы. Исследовалась эволюция разрядных
параметров. Получены вольт-амперные характеристики устойчивых режимов существования магнетронного разряда с
расплавленным катодом в отсутствие подачи рабочего газа. Скорость осаждения покрытия из меди на расстоянии 26 см
от поверхности катода составила 12 мкм/мин.
PACS: 52.80.Sm, 52.75.-d, 52.70.-m, 52.25.Xz, 81.15.Cd
Ключевые слова: магнетронный разряд, режим самораспыления, распыление из жидкой фазы, скорость осаждения,
импульсная зондовая диагностика, спектроскопия плазмы.
Тумаркин Александр Владимирович, аспирант.
Ходаченко Георгий Владимирович, доцент.
Казиев Андрей Викторович, аспирант.
Щелканов Иван Анатольевич, инженер.
Степанова Татьяна Владимировна, инженер 1 кат.
НИЯУ «МИФИ».
Россия, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31.
Тел. (495) 788-56-99, доб. 8091.
E-mail: avkaziev@gmail.com
Статья поступила в редакцию 20 марта 2013 г.
© Тумаркин А.В., Ходаченко Г.В., Казиев А.В.,
Щелканов И.А., Степанова Т.В., 2013
|
|
Литература
1. Кузьмичев А.И. Магнетронное распылительные системы. — Киев: Аверс, 2008
2. Данилин Б.С., Какурин М.В., Минайчев В.Е. и др. // Электронная техника. Сер. 3 Микроэлектроника. 1978. Вып. 2 (72). С. 84
3. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. — М.: Радио и связь, 1982
4. Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. — М.: Техносфера, 2010
5. Третьяков Р.С., Кривобоков В.П., Янин С.Н. // Известия вузов. Физика. 2007. Т. 50. № 9 (Приложение). С. 487
6. Берлин Е.В. // Интеграл. 2009. № 6. С. 50
7. Zhukov V.V., Kosmin D.M., Krivobokov V.P., Yanin S.N. // Proc. 7th Intern. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. 2004. Tomsk. P. 277
8. Кривобоков В.П., Жуков В.В., Янин C.Н. // Физика. 2006. № 8 (Приложение). С. 30
9. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Третьяков Р.С., Юрьева А.В. // Известия вузов. Физика. 2009. Т. 52. № 11/2 (Приложение). С. 180
10. Беграмбеков Л.Б. Процессы в твердом теле под действием ионного и плазменого облучения. — М.: МИФИ, 2008
11. Чан П., Тэлбот Л., Турян К. Электрические зонды в неподвижной и движущейся плазме, пер. с англ. — М.: Мир, 1978
12. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. — М.: Атомиздат, 1969
13. Low-Temperature Plasma // J. Phys. IV. 1997. V. 7. No. 4. P. 397
14. Sanmartin J. R., // Journal. 1970. V.. 13. No. 1. P. 103
15. Brussaard G. J. H., van der Steen M., Carrere M., et. al.. // Phys. Rev. E. 1996. V. 54. No. 2. Р. 1906
16. Зайдель А.И., Прокофьев В.К., Райский С.М. и др.. Таблицы спектральных линий. — М.: Наука, 1977
17. NIST Atomic Spectra Database: [Электронный ресурс]. 1995–2012. URL: http://www.nist.gov/pml/data/asd.cfm (Дата обращения: 18.12.2012)
18. Gudmundsson J.T., Sigurjonsson P., Larsson P., et.al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 123302
|
Скачать полный текст статьи в PDF-формате
 Содержание выпуска № 3
|