УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Научно-технический журнал
2013, том 1, № 3



УДК 621.3.049.77:621.383

Выявление скрытых дефектов в БИС считывания МФПУ

В.М. Акимов, К.О. Болтарь, Л.А. Васильева, Е.А. Климанов, В.П. Лисейкин

       Для обнаружения дефектов в матричных БИС считывания обычно применяются тестовые МОП-транзисторы, расположенные в каждой ячейке. Однако этот метод регистрации дефектов обладает существенными недостатками: уменьшается полезная площадь ячейки (до 50 %) и уменьшается процент выхода годных кристаллов из-за наличия схемы тестирования. Предложен метод выявления «скрытых» дефектов путем закорачивания всех истоков мультиплексора на подложку слоем металла.

PACS: 85.40._e; 84.40.Lj; 85.60.Dw
Ключевые слова: измерение параметров, скрытые дефекты, гибридная сборка, индиевые столбики.


Акимов Владимир Михайлович, главный специалист1.
Болтарь Константин Олегович, начальник НТК1, профессор2.
Васильева Лариса Александровна, ведущий инженер-конструктор1.
Климанов Евгений Алексеевич, главный научный сотрудник1, доцент3.
Лисейкин Виктор Петрович, старший научный сотрудник1.
1ОАО "НПО "Орион".
Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2.
Тел.: 8 (499) 374-81-30. E-mail: orion@orion-ir.ru
2Московский физико-технический институт.
Россия, 141700, Московская область,
г. Долгопрудный, Институтский пер., 9
3 МИРЭА (Технический университет).
Россия, 119454, Москва, пр-т Вернадского, 78.

Статья поступила в редакцию 10 июня 2013 г.
© Акимов В.М., Болтарь К.О., Васильева Л.А.,
Климанов Е.А., Лисейкин В.П., 2013.
  Литература
1. Семенов Ю.Г. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Кн. 10. Контроль качества. - М.: Высшая школа, 1990
2. Цербтс М. Контрольно-измерительная техника. Пер с нем. -М.: Энергоиздат, 1989.
3. Акимов В.М., Дремова Н.Н., Якунин С.Н. Анализ отказов специализированных интегральных схем считывания и обработки сигналов матричных ИК фотоприемников. / ХХ Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. 2008 г. Москва, Тезисы докладов.
4. Акимов В.М., Дремова Н.Н., Якунин С.Н. // Прикладная физика, 2008, № 2. C. 56
5. Kosonocky Walter F. and et al. // SPIE. V. .2226. P. 152.
6. Акимов В. М., Васильева Л. А., Климанов Е. А., Лисейкин В. П. Патент на изобретение №2388110. Заявка №2010104027 от 05.02.2010. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений Российской Федерации 27.04.10.
7. Акимов В. М., Васильева Л. А., Есина Ю.В., Климанов Е. А., Лисейкин В. П. Патент на изобретение №2415493. Заявка №2009105899 от 19.02.2009. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений Российской Федерации 27.03.11.

Скачать полный текст статьи в PDF-формате


 Содержание выпуска № 3