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2015, 3, 4 2013 .


. . ,     323
 
. . : ()     325

. . CVD- ()     342
. ., . . -2     377
 
. ., . ., . . InGaAs/InP ()     386
. ., . ., . ., . . AuGe/n+-GaP     395
 
Ũ
. ., . ., . ., . ., . .     402
. ., . ., . ., . . ()     418
 
    415
    417