УДК 621.315.5
Модификация поверхности напыленных слоев индия
в процессах ионного травления
М.В. Седнев, Е.Н. Зубкова, Ю.П. Шаронов
В работе исследованы процессы и результаты ионного травления предварительно напыленных слоев
индия для создания индиевых микроконтактов.
PACS: 42.70.Nq
Ключевые слова: ионно-лучевое травление, микроконтакт, фоточувствительный элемент, In, Si.
Седнев Михаил Васильевич, начальник участка.
Зубкова Елена Николаевна, инженер.
Шаронов Юрий Павлович, вед. инженер-технолог.
ОАО «НПО «Орион»».
Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
E-mail: orion@orion-ir.ru
Статья поступила в редакцию 20 февраля 2013 г.
© Седнев М.В., Зубкова Е.Н., Шаронов Ю.П., 2013
|
|
Литература
1. Бурлаков И.Д., Болтарь К.О., Седнев М.В. // Прикладная физика. 2007, № 5. С. 58
2. Седнев М.В., Болтарь К.О., Корнеева М.Д., Мезин Ю.С. // Прикладная физика. 2011. № 1. С. 96.
3. Седнев М.В., Болтарь К.О., Мезин Ю.С. и др. // Прикладная физика. 2012. № 1. С. 90
4. Per G. Gloersen // J. Vac. Sci. Technol. 1975. V. 12. P. 28.
|
Скачать полный текст статьи в PDF-формате
 Содержание выпуска № 3
|