УДК 539.216.2
Особенности распыления в плазме поликристаллических пленок Pb1?xSnxTe со столбчатой структурой
С.П. Зимин, Е.С. Горлачев, И.И. Амиров, Г.А. Дубов, В.В. Наумов,
В.Ф. Гременок, В.А. Иванов, Х.Г. Сейди
Проведены измерения скоростей распыления поликристаллических пленок тройного твердого
раствора Pb1-xSnxTe (x = 0,16-0,85) со столбчатой структурой при обработке в аргоновой плазме.
Установлен эффект снижения скоростей распыления поликристаллических пленок теллурида свинца – теллурида олова по
сравнению с монокристаллическими слоями и предложена соответствующая физическая модель. Описано формирование
наноструктур на поверхности пленок Pb1-xSnxTe при обработке в плазме, морфология которых зависит
от скорости распыления материала.
PACS: 68.55.J-; 52.77.Bn; 81.16.Pr.
Ключевые слова: твердые растворы, теллуриды свинца и олова, поликристаллические пленки, плазменная обработка, скорость распыления,
окисление, наноструктуры.
Зимин Сергей Павлович, профессор1.
Горлачев Егор Сергеевич, вед. инженер1, науч. сотр.2.
Амиров Ильдар Искандерович, зав. лабораторией2.
Дубов Георгий Андреевич, аспирант1.
Наумов Виктор Васильевич, старший науч. сотр.2.
Гременок Валерий Феликсович, зав. лабораторией3.
Иванов Василий Алексеевич, вед. науч. сотр.3.
Сейди Хассан Горбани, аспирант3.
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова.
Россия, 150000, г. Ярославль, ул. Советская, 14.
Тел.: (4852) 797774. E-mail: zimin@uniyar.ac.ru
2Ярославский филиал Физико-технологического института РАН.
Россия, 150007, г. Ярославль, ул. Университетская, 21
3ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению».
Беларусь, 220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 19.
Статья поступила в редакцию 12 февраля 2013 г.
© Зимин С.П., Горлачев Е.С., Амиров И.И., Дубов Г.А.,
Наумов В.В., Гременюк В.Ф., Иванов В.А., Сейди Х.Г., 2013
|
|
Литература
1. Unuchak D. M., Bente K., Ivanov V. A., Gremenok V.F.// Cryst. Res. Technol. 2010. V. 45. P. 1113.
2. Abramof E., De Andrada e Silva E. A., Ferreira S. O., Motisuke P., Rappl P. H. O., Ueta A. Y.// Phys. Rev. B. 2001. V. 63. P. 085304.
3. Дмитриев А. В., Звягин И. П.// УФН. 2010. Т. 180. С. 821.
4. Zimin S. P., Amirov I. I., Gorlachev E. S. // Semicond. Sci. Technol. 2011. V. 26. P. 055018.
5. Zimin S. P., Gorlachev E. S., Amirov I. I, Zogg H., Abramof E., Rappl P. H. O.// Semicond. Sci. Technol. 2011. V. 26. P. 105003.
6. Амиров И. И., Зимин С. П., Горлачев Е. С., Наумов В. В., Абрамоф Э., Раппл П. Э. О.// Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2012. № 8. С. 17.
7. Башкиров С. А., Гременок В. Ф., Иванов В. А.// ФТП. 2011. № 45. С. 765.
8. Zimin S. P., Gorlachev E. S., Amirov I. I., Zogg H.//. J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. V. 42. P. 165205.
9. Wang J., Hu J., Becla P., Agarwal A. M., Kimerling L. C.// J. Appl. Phys. 2011. V. 110. P. 83719.
10. Cape J. A., Hale L. G., Tennant W. E.// Surface Sci. 1977. V. 62. P. 639.
11. Badrinarayanan S., Mandale A. B., Sinha A. P. B.// Mater. Chem. Phys. 1984. V. 11. P. 1.
12. Bettini M., Richter H. J.// Surface Sci. 1979. V. 80. P. 334.
13. Frankenthal R. P., Siconolfi D. J.// Corrosion Sci. 1981. V. 21. P. 479.
14. Berchenko N. N., Nikiforov A. Yu., Fadeyev S. V.// Surf. Interface Anal. 2006. V. 38. P. 518.
15. Зимин С. П., Горлачев Е. С., Амиров И. И., Наумов В. В.// ПЖТФ. 2011. Т. 37. № 19. С. 80.
|
Скачать полный текст статьи в PDF-формате
 Содержание выпуска № 3
|