УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Научно-технический журнал
2013, том 1, № 2



УДК 621.315.5

Исследование причин возникновения дефектов при напылении слоя индия

Б.В. Трошин, Е.А. Климанов, М.В. Седнев

       Индий является основным материалом для формирования микроконтактов методом вакуумного напыления с использованием испарителей резистивного типа. В напыленных слоях иногда присутствуют дефекты полусферической формы, которые вызывают серьезные проблемы при формировании индиевых микроконтактов. В статье предложена модель формирования дефектов такого типа и способы борьбы с ними. Показано, что основными причинами образования дефектов являются микрообъемы воды внутри локальных механических дефектов поверхности подложек, газящие микрозагрязнения на поверхности и микрообъемы растворителя в слое фоторезиста.

PACS: 42.70.Nq
Ключевые слова: напыление индия, дефекты, индиевые микроконтакты.


Трошин Богдан Васильевич, аспирант.
Климанов Евгений Алексеевич, главный научный сотрудник.
Седнев Михаил Васильевич, начальник участка.
ОАО «НПО «Орион».
Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
E-mail: orion@orion-ir.ru

Статья поступила в редакцию 27 марта 2013 г.
© Трошин Б.В., Климанов Е.А., Седнев М.В., 2013

  Литература
1. Корнеева М. Д., Пономаренко В. П., Филачев А. М. // Прикладная физика. 2011. № 1. С. 47
2. Болтарь К. О., Корнеева М. Д., Мезин Ю. С., Седнев М. В. // Прикладная физика. 2011. № 1. С. 96
3. Акимов В. М., Васильева Л. А., Каган Н. Б. и др. // Прикладная физика. 2008. № 1. С. 71
4. Батырев Н. И., Драчева Е. О., Климанов Е. А. и др. // Прикладная физика. 2008. № 2. С. 108
5. Нестеров Д.В. «Получение и соединение индиевых микроконтактов в изделиях микроэлектроники». // Автореферат диссертации на соискание учёной степени к.т.н., - М.: 2004.


Скачать полный текст статьи в PDF-формате


 Содержание выпуска № 2