УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Научно-технический журнал
2013, том 1, № 3
УДК 533.924:51-73

Модель взаимодействия плазмы индукционного высокочастотного разряда пониженного давления
с наночастицами серебра

И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.А. Бородаев, А.Ю. Шемахин


       Построены физическая и математическая модели процесса взаимодействия наночастиц серебра с потоком плазмы высокочастотного разряда. Описана динамика изменения заряда и радиуса наночастицы. Установлено, что наночастицы Ag в индукционной ВЧ-плазме пониженного давления распыляются полностью, и на поверхность образца поступает атомарно-ионный поток.

PACS: 52.65.Yy, 52.80.Pi
Ключевые слова: математическое моделирование, наночастицы, взаимодействие с плазмой, распыление, высокочастотный разряд, пониженное давление.

Абдуллин Ильдар Шаукатович, зав. кафедрой.
Казанский национальный исследовательский
технологический университет.
Россия, 420068, г. Казань, ул. К. Маркса, 15.
Тел.: +7 843 231 4109. E-mail: abdullin_i@kstu.ru
Желтухин Виктор Семенович, зав. кафедрой.
Бородаев Игорь Андреевич, студент.
Шемахин Александр Юрьевич, ассистент.
Казанский (Приволжский) федеральный университет.
Россия, 420008, г. Казань, ул. Кремлевская, 18.
Тел.: +7 843 233 7800. E-mail: vzheltukhin@gmail.com

Статья поступила в редакцию 6 апреля 2013 г.
© Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Бородаев И.А., Шемахин А.Ю., 2013
  Литература
1. Абдуллин И.Ш. и др. // Вест. Казан. технол. ун-та, 2009. № 4. С. 117
2. Панкова Е.А. и др. // Вест. Казан. технол. ун-та, 2009. № 4. С. 206
3. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка мате-риалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. - Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2000.
4. Бородаев И.А., Желтухин В.С. // Тез. докл. XXXIX Междунар. (Звенигородской) конф. по физ. плазмы и УТС, М., 2012. С. 156.
5. Ю. П. Райзер Физика газового разряда.- М.: Наука, - 1987
6. Митчнер М., Кругер Ч. Частично ионизованные газы. - М.: Мир, 1976.
7. Фортов В.Е. и др. // Успехи физ. наук. 2004. Т. 175. № 5. С. 495.
Скачать полный текст статьи в PDF-формате


 Содержание выпуска № 3